© Ton Toemen/HH
Productie chipmachines ASML geraakt door brand
De brand die begin deze week bij een Berlijnse vestiging van chipmachinefabrikant ASML woedde, heeft de productie van onderdelen voor zijn geavanceerdste machines geraakt.
De ruimte waar deze componenten werden gemaakt, is nog niet hersteld. Het Veldhovense bedrijf weet nog niet in hoeverre dit de productie van de chipmachines in zijn geheel raakt.
ASML zegt dat in één van de getroffen ruimtes klemmen werden gemaakt voor wafers, de dunne plakken materiaal waarvan uiteindelijk halfgeleiders worden gemaakt. Deze klemmen zijn bedoeld voor EUV-machines, de nieuwste generatie machines van ASML voor de productie van chips.
"We zijn nog bezig het herstelplan voor deze productieruimte te voltooien en gaan na hoe we de eventuele impact op onze klanten kunnen beperken", schrijft het bedrijf.
Geen gewonden
De brand tastte ook ruimtes aan waar onderdelen voor een oudere generatie chipmachine, de DUV, worden gemaakt. Het incident verstoorde de productie hier enigszins, maar ASML verwacht dat deze achterstanden snel in te halen zijn.
De brand ontstond in de nacht van zondag op maandag. Maandag was al bekend dat er geen gewonden zijn gevallen door de brand.